分光エリプソメトリー	原子間力顕微鏡	CL/EBSD/EDX/SEM装置
3次元表面形状測定システム	パワーデバイス用プローブステーション	ホール効果測定装置
薄膜用X線回折	ICPエッチング装置	レーザ露光装置
電極形成装置	PSD結晶成長装置	XPS装置